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脈沖激光沉積系統(tǒng)( Pioneer 120 Advanced PLD System)

作者:北京正通遠恒科技有限公司
  • 產(chǎn)品信息
  • 技術(shù)指標(biāo)
  • 應(yīng)用領(lǐng)域
  • 索取報價

名稱:脈沖激光沉積系統(tǒng)
品牌Neocera

產(chǎn)地:美國
型號Pioneer 120 Advanced PLD System 

Neocera Pioneer 系列 PLD 系統(tǒng)— 基于卓越經(jīng)驗的創(chuàng)新設(shè)計,利用PLD 開展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù),特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜。
這些思考已經(jīng)應(yīng)用于Pioneer 系統(tǒng)的設(shè)計之中。
? 很多復(fù)雜氧化物薄膜在相對高的氧壓(>100 Torr)下冷卻可獲得更高的質(zhì)量。所有Pioneer 系統(tǒng)都具備此功能(壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系統(tǒng)的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的最大均勻性,同時避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導(dǎo)致密度均勻性的損失。
? 為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,消除油的回流對薄膜質(zhì)量的影響,所有Pioneer 系統(tǒng)的標(biāo)準配置都采用無油泵系統(tǒng)。
? 我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)。Pioneer 系統(tǒng)可以控制靶材和基片的距離,以達到最優(yōu)的沉積條件。

項目 Pioneer240
Pioneer180
Pioneer120A
最大wafer 直徑
8”
6”
2”
最大靶材數(shù)量
6 個1” 或3 個2”
6 個1” 或3 個2”
6 個1” 或3 個2”
壓力(Torr) *
5*10-8
5*10-9
5*10-9
真空室直徑
24”
18”
12”
基片加熱器
360°旋轉(zhuǎn) 360°旋轉(zhuǎn)
360°旋轉(zhuǎn)
最高樣品溫度
850 ℃
850 ℃
950 ℃
Turbo 泵抽速*
(liters/sec)
700
軟件控制

400
件控制

260
控制

計算機控制
包括 包括
包括
基片旋轉(zhuǎn) 包括 選件
基片預(yù)真空室
包括 選件 選件
掃描激光束系統(tǒng)
包括 選件 -
靶預(yù)真空室
包括 選件 -
IBAD 離子束輔助沉積
選件 選件
選件
CCS 連續(xù)組成擴展

選件
-
高壓RHEED



520 liters/sec 泵
N/A 選件 -
... ...


? 作為完整PLD 實驗室解決方案供應(yīng)商,我們還可提供:248nm 激光器(準分子、固體等),激光氣體柜,激光器和光學(xué)器件 桌,以及光學(xué)器件等。
? 帶* 的項目均可客戶化。

脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition)是一種用途廣泛的薄膜沉積技術(shù)。脈沖激光快速蒸發(fā)靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的獨特之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時,工作壓力的動態(tài)范圍很寬,達到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有獨特功能的納米結(jié)構(gòu)和納米顆粒。另外,PLD 是一種“ 數(shù)字” 技術(shù),在納米尺度上進行工藝控制(?/pulse)。
? Neocera 在PLD 設(shè)備與工藝開發(fā)方面卓越的經(jīng)驗
? Pioneer 系列PLD 系統(tǒng)是全球研發(fā)領(lǐng)域廣泛使用的商業(yè)化系統(tǒng)
? Neocera 不僅為客戶提供最基本的PLD 系統(tǒng),也提供完整的PLD 實驗室交鑰匙方案

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