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名稱：Allalin 快速定量陰極發(fā)光CL-SEM系統(tǒng)
品牌：Attolight
產(chǎn)地：瑞士
型號：Allalin
Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極發(fā)光的突破性技術(shù)，它將光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡（SEM）集成到一個系統(tǒng)中。Allalin允許“不折不扣”的大視場/ 快速掃描同時獲得掃描電鏡成像與高光譜或全光譜CL圖像。該系統(tǒng)的構(gòu)建是為了在不犧牲掃描電鏡（SEM）性能的前提下獲得的陰極發(fā)光性能：光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡的物鏡被周密的整合在一起，使它們的焦平面相互匹配；光學(xué)顯微鏡以亞微米精度加工，與傳統(tǒng)的CL技術(shù)相比，具有高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）的消色差、高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）檢測，在大視場（高達(dá)300 μm）下具有優(yōu)越的光子收集效率。因此，定量陰極發(fā)光，其中與儀器系統(tǒng)相關(guān)的組件所引入的誤差可以從本質(zhì)上被排除掉，這使陰極發(fā)光變的可信。
Allalin是為那些需要遵循嚴(yán)格的技術(shù)路徑和快速獲取非常精確的光譜信息而設(shè)計的，而這些信息是傳統(tǒng)方法無法比擬的。
在半導(dǎo)體故障分析、開發(fā)和研究中，Allalin的光譜測量能力為快速可靠的缺陷檢測和定位提供了解決方案。經(jīng)過驗證的數(shù)據(jù)類型包括位錯密度、材料成分波動、應(yīng)變、摻雜劑類型和濃度的測量；以及其他廣泛的應(yīng)用。
在科學(xué)研究中，Allalin能夠創(chuàng)建納米分辨率的光譜圖，這使得它成為深入了解納米尺度材料物理特性的工具。
Allalin擁有一套全面的功能選項：覆蓋紫外-紅外波長范圍的各種探測器選擇、SE檢測器、穩(wěn)定的低溫樣品臺和高靈敏度的EBIC（電子束感應(yīng)電流）檢測解決方案。
技術(shù)參數(shù)
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | – 肖特基熱場發(fā)射電子槍 – 電子束能量 1keV–10keV – 最小電子束斑尺寸: 3nm @10kV – 最佳工作距離 3mm – 高靈敏度SE檢測器 – 可升級為皮秒脈沖激光電子槍（更多信息請 參閱Chronos信息） – 探針電流: 30pA to 300nA |
| 光學(xué)系統(tǒng) | – 視場可達(dá) 300μm – 集成光收集系統(tǒng): 由朗伯體發(fā)射的光子有30%離開顯微鏡(在整個視場中是恒定的) – 消色差反射物鏡從180nm 到 1.6μm– 數(shù)值孔徑: NA 0.71 (f/0.5) |
| 光檢測 | – 色散光譜儀，帶有兩個成像出口(320毫米焦距)和一個3光柵轉(zhuǎn)臺(Attolight提供大量衍射光柵，以匹配您的應(yīng)用)，電動入口和出口狹縫用于紫外可見光(200 nm–1100 nm)測的高速CCD攝像機， 最高速度>900光譜/秒 – 用于近紅外(600 nm–1700 nm)檢測的InGaAs攝像機最高速度>180光譜/秒 – 使用不同的探測器在200 nm–1700 nm范圍內(nèi)進(jìn)行全色檢測，最高速度>每像素50 ns |
| 電子束感應(yīng)電流(EBIC) | – 低噪音EBIC電路板 – 電流測量極限100fA – 增益10^4到10^15V/A – 帶寬最大 100kHz |
| 樣品室與真空系統(tǒng) | – 無油真空泵組系統(tǒng)：用于電子槍和電子柱的吸氣劑離子泵和用于樣品室的渦輪分子泵 – 一般換樣時間：20 min – 真空門上配有電子饋通 |
| 納米定位平臺 | – 6自由度，可任意移動(與低溫恒溫器兼容） – 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 傾斜(X,Y), 10° 旋轉(zhuǎn) (Z) – 步進(jìn): 1 nm – 整個行程范圍內(nèi)100 nm的重復(fù)性 – 坐標(biāo)系統(tǒng)，便于精確定位和移動 |
| 低溫恒溫系統(tǒng) | – 溫度范圍從 10K 到室溫，溫度精度0.1 K – 先進(jìn)的數(shù)字溫度控制器 – 溫度為10 K時，每小時漂移小于300nm |
| 系統(tǒng)控制和檢測模塊 | – 同時進(jìn)行CL（高光譜或全光譜圖譜）、SEM和EBIC檢測 – 半自動操作模式 – 直觀的基于觸摸屏的圖形用戶界面（GUI），用于快速樣品定位和移動以及實時數(shù)據(jù)顯示，以檢查測量狀態(tài) – 最大圖像分辨率為4K，高光譜圖譜的最大分辨率為512×512像素，電子束停留時間最小為每像素50 ns |
| 數(shù)據(jù)分析 | – Attolight提供了強大的分析和解決方案。更多信息請參考單獨的Attomap手冊。 – 工具配置和CL數(shù)據(jù)同時保存，以便于工具配置的再現(xiàn) – 通過網(wǎng)絡(luò)輕松訪問受密碼保護(hù)的測量數(shù)據(jù) – 導(dǎo)出為開放數(shù)據(jù)格式，為用戶選擇首選的數(shù)據(jù)分析軟件提供最大的靈活性 |
| 系統(tǒng)外形規(guī)格 | – 占地面積：1219 mm（長）× 1039 mm（寬） – 推薦使用面積：2017 mm（長）× 2426 mm（寬） – 重量：~1110 kg |
應(yīng)用領(lǐng)域
1.納米半導(dǎo)體光學(xué)特性
2.晶體缺陷檢測和定位（穿透位錯、層錯、摻雜物等）
3.納米級成分波動的測定
4.摻雜計量
5.失效分析
6.納米光子學(xué)
7.其他應(yīng)用：有關(guān)動態(tài)皮秒時間分辨CL的更多應(yīng)用，請參閱Attolight Chronos手冊。有關(guān)CL測量的更多應(yīng)用和深入分析，請參閱我們網(wǎng)站上的出版物列表。