名稱:磁場成像顯微鏡
品牌:Neocera
產(chǎn)地:美國型號:Magma EFI HiRes
Magma磁場成像顯微鏡系統(tǒng)(簡稱Magma)是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套傳感器和技術(shù),可以檢測和定位靜態(tài)缺陷。
Magma具有極大的可靠性,適用于探測開路、短路、漏電和高電阻開路的位置。此外,磁場成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多層器件。
在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域,Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷(短路、漏電和開路)。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件,包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。
新型平臺的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入,以提供用戶友好型的設(shè)置和操作,以及更高的工作量和更低的運(yùn)營成本。
基礎(chǔ)配置:配備高靈敏度的SQUID傳感器,用于低電流、無損檢測短路、漏電和高電阻開路。可實(shí)現(xiàn)低成本定位,用于檢測封裝器件和PC板中的短路及漏電。
EFI工具:能夠以極高的精確度檢測失效的開路故障。
HiRes工具:將兩個傳感器組合成一個工具。在靠近電流掃描時(shí),SQUID傳感器用于檢測盡可能最小的電流,磁阻傳感器用于獲得較好的空間分辨率。因此,其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn):空間定位和靈敏度。