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激光分子束外延（Laser MBE）

作者：北京正通遠恒科技有限公司

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激光分子束外延（Laser MBE）

激光 MBE 是普遍采用的術(shù)語，該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法，高真空下的 PLD 與在線工藝監(jiān)測的反射高能電

子衍射（RHEED）的聯(lián)合應(yīng)用，為用戶提供了類似于 MBE 的薄膜生長的單分子水平控制。

? 高壓 RHEED 用于原位薄膜生長控制。

? 提供原子級薄膜生長控制 / 生長模式控制。（例如：通過 RHEED 振蕩實現(xiàn)的 2D 生長模式）。

? RHEED 是一種衍射技術(shù)。從屏上產(chǎn)生的衍射圖樣中，可以實時地破譯結(jié)構(gòu)信息。

? 厚度和沉積速率信息。

? 薄膜襯底界面的應(yīng)力 / 其它結(jié)構(gòu)缺陷、第二相均可檢測。

? 這些信息對于各種納米結(jié)構(gòu)的高質(zhì)量外延薄膜生長至關(guān)重要。

技術(shù)參數(shù)

? 最大束流電壓：30 KeV。

? 兩組磁線圈，用于襯底平面內(nèi)和垂直于襯底平面的束流運動。

? 雙差動泵（氧氣的兼容性高達 500 mTorr ）。

? 配有光閥的凹形 RHEED 屏。

? 12 位 CCD 相機。

? K-space 數(shù)據(jù)采集和軟件。

? 與 PLD 系統(tǒng)完全集成。

參考文獻

1. Ariando, Wang X, Baskaran G, et al. Electronic phase separation at the LaAlO3/SrTiO3 interface[J]. Nature Communications,

2011, 2(1):188.

DOI：10.1038/ncomms1192

（使用設(shè)備型號：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

2. Palgrave R G, Borisov P, Dyer M S, et al. Artificial Construction of the Layered Ruddlesden-Popper Manganite La2Sr2Mn3O10 by Reflection High Energy Electron Diffraction Monitored Pulsed Laser Deposition[J]. Journal of the American Chemical Society,

2012, 134(18):7700-7714.

DOI：10.1021/ja211138x

（使用設(shè)備型號：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

1. Lvkang Shen, Liang Wu, Quan Sheng, Chunrui Ma,* Yong Zhang, Lu Lu, Ji Ma, Jihong Bian, Yaodong Yang, Aiping Chen, Xiaoli Lu, Ming Liu,* Hong Wang, Chun-Lin Jia. "Epitaxial lift-off of centimeter-scaled spinel ferrite oxide thin films for flexible electronics". Advanced Materials, DOI: 10.1002/adma.201702411, 2017.（西南交通大學(xué)使用設(shè)備型號：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

2. Yong Zhang, Lvkang Shen, Ming Liu,* Xin Li, Xiaoli Lu,* Lu Lu, Chunrui Ma, Caiyin You, Aiping Chen, Chuanwei Huang, Lang Chen, Marin Alexe, Chun-Lin Jia. "Flexible Quasi-Two-Dimensional CoFe₂O₄ Epitaxial Thin Films for Continuous Strain Tuning of Magnetic Properties". ACS Nano, DOI: 10.1021/acsnano.7b02637, 2017.（西南交通大學(xué)使用設(shè)備型號：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

3. Lvkang Shen, Chunrui Ma,* Shaodong Cheng, Shengping Ren, Sheng Cheng, Shao-Bo Mi, Ming Liu. "Enhanced Magnetic Properties in Epitaxial Self-Assembled Vertically Aligned Nanocomposite (Pr_0.5Ba_0.5MnO₃)_0.5:(CeO₂)_0.5Thin Films". Journal of Materials Chemistry C, 4: 10955-10961, 2016.（西南交通大學(xué)使用設(shè)備型號：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

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激光分子束外延（Laser MBE）