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微電子應(yīng)用程序
微電子行業(yè)發(fā)展迅速:獲得技術(shù)領(lǐng)先對獲得市場優(yōu)勢至關(guān)重要。關(guān)鍵是擁有有潛力的新材料和涂層能決定未來性能的測試程序,從而快速、可靠、有效地提高性能。微電子應(yīng)用和微電子納米測試是納米測試可以提供的眾多優(yōu)勢之一。
用納米級(jí)測試優(yōu)化的可靠性
數(shù)十年來,含鉛焊點(diǎn)在微電子工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。雖然有前途的無鉛焊料如SAC (Sn-Ag-Cu)已經(jīng)開發(fā)用于國內(nèi),但其可靠性仍然令人擔(dān)憂。它們的特性要差得多,特別是在微電子應(yīng)用中經(jīng)驗(yàn)豐富的工作環(huán)境下,工業(yè)研究表明,故障率太高,降解機(jī)制與國外使用的不同。
使用納米測試來表征和優(yōu)化:
無鉛焊料-高溫納米壓痕
二氧化硅表面磨損
ta-C薄膜的劃痕測試
微梁和懸臂梁的彎曲
微梁和懸臂梁的疲勞(采用納米沖擊專利技術(shù))
Bond pads