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首頁(yè)>行業(yè)應(yīng)用

原子層沉積(ALD)在半導(dǎo)體先進(jìn)制程的應(yīng)用

作者:北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司閱讀量: 分享到:
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  • 應(yīng)用指南
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        隨著集成電路工藝技術(shù)的不斷提高,晶體管的特征尺寸及刻蝕溝槽不斷減小,溝槽及其側(cè)壁的鍍膜技術(shù)面臨嚴(yán)峻的挑戰(zhàn),物理氣相沉積(PVD)及化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝已經(jīng)無(wú)法滿足極小尺寸下良好的臺(tái)階覆蓋要求,而控制納米級(jí)別厚度的高質(zhì)量超薄膜層制備也成為技術(shù)難點(diǎn)。

        原子層沉積(ALD)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜的形式,一層一層鍍?cè)诨妆砻娴南冗M(jìn)沉積技術(shù)。一個(gè)ALD循環(huán)包括兩個(gè)先后進(jìn)行的半反應(yīng)(圖1)。在一定的真空環(huán)境下,前驅(qū)體和共反應(yīng)物交替地通入反應(yīng)腔體,飽和吸附并在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成單原子層。每個(gè)半反應(yīng)間通入惰性氣體進(jìn)行清洗,確保完全除去過(guò)量的反應(yīng)物和生成的小分子副產(chǎn)物。理論上,經(jīng)過(guò)一個(gè)循環(huán)工藝,基底表面便鍍上了一層單原子膜。通過(guò)增加循環(huán)次數(shù),原子層將依次沉積在表面上,形成薄膜。


圖1 單個(gè)原子層沉積工藝的循環(huán)過(guò)程

       由于前驅(qū)體和共反應(yīng)物的化學(xué)吸附(化學(xué)反應(yīng))自限制性,運(yùn)用ALD技術(shù)可以大面積沉積均勻無(wú)孔的超薄膜,在亞納米尺度上精確控制膜厚,并且在高深寬比、形狀復(fù)雜的結(jié)構(gòu)中具有優(yōu)異的保形性。ALD沉積薄膜的溫度窗口很寬,反應(yīng)對(duì)生長(zhǎng)溫度并不敏感,因此它可以適應(yīng)不同溫度環(huán)境下的薄膜制備。鑒于ALD的工藝特點(diǎn)和沉積薄膜的諸多優(yōu)勢(shì)及特征,近年來(lái)獲得了研究人員和企業(yè)各界的廣泛關(guān)注,尤其是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。

       目前,對(duì)于金屬、金屬氧化物、氮化物、碳化物、硫化物、氟化物的原子層沉積研究卓有成效。ALD在半導(dǎo)體先進(jìn)制程中主要的應(yīng)用包括金屬柵、柵介質(zhì)層和互連線擴(kuò)散阻擋層加工工藝三個(gè)方面。

金屬柵在新一代制程中,原有的半導(dǎo)體多晶硅柵極將被金屬取代以消除層間損耗,而此處金屬沉積可選用ALD工藝完成。

1. P型半導(dǎo)體

        Ru作為P型半導(dǎo)體柵極的ALD工藝相對(duì)成熟,主要是在NH3等離子體的還原作用下將前驅(qū)體材料包括RuCp2(Cp=環(huán)戊二烯基)、Ru(EtCp)2(Et=乙基)還有Ru(od)2(od=辛二酮)、Ru(thd)3(thd=2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)在NH3還原作用下生成金屬Ru或者是在O2的作用下將前驅(qū)體氧化為RuOx。雖然Ru前驅(qū)體種類眾多,但是由于Ru金屬本身屬于惰性材料,所以一旦吸附在硅片背面會(huì)很難除去。然而在實(shí)際生產(chǎn)中,CMP過(guò)程會(huì)不可避免地誘導(dǎo)金屬柵極在背面的污染,對(duì)CMOS生產(chǎn)的前端非常不友好,所以Ru作為金屬柵極的應(yīng)用受到了限制。

       TiN是P型半導(dǎo)體柵極的理想材料,不僅電阻率低、工藝兼容性好,而且還和柵極介質(zhì)層HfO2有良好的熱穩(wěn)定性。1988年,Hiltunen等人率先對(duì)ALD沉積TiN的工藝進(jìn)行了研究,通過(guò)使用TiCl4作為前驅(qū)體NH3做共反應(yīng)物,500℃下能夠在玻璃上均勻沉積多晶TiN,但是沉積速率只有0.02nm/循環(huán)。此外,還有研究使用TiI4作為前驅(qū)體,和TiCl4相比其沉積溫度能夠下降至350℃,其沉積速率也有明顯改善。

       但是如果要實(shí)際應(yīng)用在CMOS的工藝,以上的沉積速率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠,主要原因在于共反應(yīng)物NH3提供的N成分遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠Ti-N鍵的連接,所以研究者們開發(fā)了作為TEMAT(Ti[N(C2H5CH324)新型前驅(qū)體,使反應(yīng)窗口能夠降低至150-220℃,沉積速率也提高為原先的10倍。以上的研究為TiN作為金屬柵極提供了良好的技術(shù)基礎(chǔ),迄今仍然主要使用上述提到的前驅(qū)體作為研究方向。

2. N型半導(dǎo)體

       和P型半導(dǎo)體相比,用ALD沉積N型半導(dǎo)體更為困難,最早的研究開始于2007年,Triyoso等人用PEALD沉積了TaCy薄膜,在此基礎(chǔ)上開展了對(duì)TiAlC和TaAlC的研究。

       TiAlC一般是以TiCl4作為作為Ti前驅(qū)體,以TMA (三甲基鋁)作為Al前驅(qū)體,一個(gè)完整的沉積過(guò)程由脈沖TiCl4--吹掃N2--脈沖TMA--吹掃N2組成,最終能夠形成粗糙度只有0.33nm的無(wú)定形膜層,通過(guò)C-V測(cè)試可知缺陷很少,唯一的缺點(diǎn)是和高性能nMOSFETs相比,這種方法得到的EWF shift很小。通過(guò)把Al前驅(qū)體從TMA更換為TEA(三乙基鋁),TEA提供了更多的β-H能夠有效清除H2,提高Al的生成效率,因而被廣泛使用。

       TaAlC一般是用TaCl5作為作為Ti前驅(qū)體,TMA、TEA作為Al前驅(qū)體,從表一其實(shí)可以看出,兩種材料的沉積工藝和性能都非常相似。


表一:TiAlC和TaAlC層的工藝對(duì)比


柵介質(zhì)層:

       在集成電路產(chǎn)業(yè)史上,為了追逐摩爾定律,MOSFET(圖2)的特征尺寸不斷縮小,工作電壓也不斷降低。為了抑制短溝道效應(yīng),減小柵介質(zhì)層對(duì)提高柵電容以提高柵對(duì)溝道的控制能力,調(diào)節(jié)閾值電壓起著至關(guān)重要的作用。在傳統(tǒng)MOS器件中,通過(guò)簡(jiǎn)單的氧化工藝可以在Si襯底上得到一層所需厚度的SiO2層作為柵介質(zhì)層。當(dāng)集成電路器件特征尺寸進(jìn)入180nm時(shí),柵氧化層的厚度小于3nm。由于P型摻雜多晶硅柵的硼穿透效應(yīng)日益嚴(yán)重(硼在SiO2介質(zhì)中屬于快擴(kuò)散物質(zhì)),半導(dǎo)體業(yè)界在氧化工藝中加入NO、N2O和NH3等含氮?dú)怏w以形成更致密的SiON介質(zhì)層改善純SiO2的不足。

       隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的跟進(jìn),當(dāng)制程工藝特征線寬要求小于45nm,相應(yīng)的SiO2層厚度將縮小至1nm以下,此時(shí)量子隧穿效應(yīng)的影響將急劇增加——以NMOS為例,襯底的電子以量子形態(tài)大概率地穿過(guò)柵介質(zhì)層進(jìn)入柵,導(dǎo)致柵漏電十分嚴(yán)重。通過(guò)改善氧化工藝提高介質(zhì)層氮含量以及減小SiO2厚度的方法繼續(xù)縮小MOS器件難以為繼,開發(fā)新工藝制備新材料以代替SiO2和SiON十分重要。

       在集成電路的發(fā)展歷程中,選用比SiO2介電常數(shù)(3.9)更高的高k材料成為解決這一技術(shù)瓶頸的關(guān)鍵一招。高k材料的選擇除了具有高的介電常數(shù)外,還需滿足寬禁帶、與襯底材料間足夠的能帶偏移量和低的界面態(tài)。

       絕大多數(shù)高k材料的加工工藝都依賴于原子層沉積技術(shù)。此前,基于ALD沉積的一些重要研究包括TiO2、HfO2、Al2O3、ZrO2、Ta2O5,稀土元素氧化物和一些硅酸鹽混合的納米層狀結(jié)構(gòu)材料。Si3N4、Al2O3介電常數(shù)仍較低。TiO2雖然介電常數(shù)很高(80),但禁帶寬度小且與襯底明顯的界面缺陷限制了其作為柵介質(zhì)的應(yīng)用。HfO2的介電常數(shù)為25,具有適合的禁帶寬度(5.8eV),綜合各方面性能要求,高k材料HfO2作為柵介質(zhì)層得到了業(yè)內(nèi)廣泛的認(rèn)可和應(yīng)用。


圖2 MOSFET結(jié)構(gòu)示意圖


互連線擴(kuò)散阻擋層:

       摩爾定律導(dǎo)致芯片中功能密度的增加,定義了每個(gè)芯片區(qū)域中互連設(shè)備的數(shù)量。隨著IC的最小特征尺寸減小,有源器件密度增加。由于芯片表面上互連線所占據(jù)的面積比容納有源器件所需的面積擴(kuò)展得更快,因此器件集成變得更加苛刻。最終,最小的芯片面積受限于互連技術(shù)。這一問題是通過(guò)多層互連系統(tǒng)解決的,其中互連線所需的區(qū)域在兩個(gè)或更多層之間共享(圖3)。

       微處理器單元(MPU)中有源器件的功能密度非常高,金屬級(jí)的數(shù)量有望達(dá)到1216。此外,隨著柵極數(shù)量增多,柵極之間需要更多的連接,互連線的平均長(zhǎng)度將增加。如果不包括全局電線,則MPU中互連的總長(zhǎng)度預(yù)計(jì)將超過(guò)2 km / cm2。在1990年代后期,很明顯地發(fā)現(xiàn),互連長(zhǎng)度的增加導(dǎo)致互連的電阻乘以電容(RC)時(shí)間延遲的增加,并且在四分之一微米的設(shè)備節(jié)點(diǎn)中,傳播延遲超過(guò)了固有延遲。

       除RC延遲外,由于鋁對(duì)電遷移的敏感性強(qiáng),隨著電流密度的增加,傳統(tǒng)的鋁金屬化也面臨著巨大的挑戰(zhàn)。因此,銅因其較高的電遷移電阻和低電阻率逐漸取代鋁工藝稱為互聯(lián)技術(shù)的主流技術(shù)。

      互連工藝中需要使用一層阻擋層金屬,它可以增強(qiáng)鋁銅合金互連線附著在硅化物上的力,減小互連線與接觸孔之間的接觸電阻和應(yīng)力,氮化鈦還可以防止硅與鋁之間相互擴(kuò)散,避免鋁穿刺。鋁工藝中的阻擋層金屬是鈦(Ti)和氮化鈦(TiN)。高溫時(shí)Cu在Si中擴(kuò)散系數(shù)較高,銅原子一旦進(jìn)入硅器件,便會(huì)成為深能級(jí)受主雜質(zhì)產(chǎn)生復(fù)合中心,使載流子壽命降低,從而導(dǎo)致器件失效。因此在銅互連結(jié)構(gòu)中阻擋層金屬更為必須。銅的阻擋層金屬是鉭(Ta)和氮化鉭(TaN)。

       隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,線寬的減小使得銅線的阻抗上升,電路的RC特性降低,RC延時(shí)增加。解決這一問題的最簡(jiǎn)單辦法就是降低擴(kuò)散阻擋層的厚度。阻擋層金屬的厚度不斷變薄,鉭和氮化鉭作為阻擋層金屬的阻擋性能比鈦和氮化鈦好,所以在銅工藝中利用氮化鉭代替氮化鈦。利用PVD技術(shù)沉積的氮化鉭是工業(yè)上應(yīng)用最多的技術(shù),它能較好地控制N/Ta比。

       但是由于PVD沉積流量的方向性和對(duì)多數(shù)金屬的高粘結(jié)系數(shù),導(dǎo)致制備薄膜不連續(xù),臺(tái)階覆蓋率低。CVD存在鍍制薄膜較厚,成分不純等內(nèi)在缺陷。通過(guò)ALD過(guò)程,在器件尺寸小于100nm和較低的溫度下,能夠得到階梯覆蓋率高,原子層厚度較薄且可精確控制的銅擴(kuò)散阻擋層。

        目前ALD TaN技術(shù)用于銅互連阻擋層被廣泛的研究。早在2002年,Kim等人利用plasma-enhancedALD的方法用TaCl5,氫氣和氮?dú)獾入x子體在硅基底上沉積TaN薄膜。隨后Kim等人使用Ta金屬有機(jī)物前驅(qū)體和氫等離子體技術(shù)生成了堅(jiān)固且超薄的TaNx銅擴(kuò)散阻擋層,定量研究了擴(kuò)散阻隔性能,并且提出該層優(yōu)異的阻擋性能歸因于膜的納米晶體微觀結(jié)構(gòu)。

       Furuya等人用Ta(N(CH325和He/H2等離子體沉積了富Ta的TaN粘合層,克服了由于ALD阻擋層金屬與Cu之間低粘附性導(dǎo)致的通孔產(chǎn)量低的問題。Dey等人研究發(fā)現(xiàn),在10nm節(jié)點(diǎn)以下的工藝技術(shù)中,當(dāng)其他的金屬如釕取代銅作為互聯(lián)金屬,ALDTaN仍能表現(xiàn)出優(yōu)異的阻擋層性能。但是由于ALD存在生長(zhǎng)速度較慢等問題,目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中銅互連阻擋層仍然采用PVD的方法。但是由于ALD技術(shù)擁有PVD和CVD所無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì),在科技工作者的共同努力下,ALD擴(kuò)散阻擋層最終會(huì)被大規(guī)模應(yīng)用。


圖3 MPU器件分級(jí)放大橫截面圖


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